二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9178465 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反應堆是一種先進的全金屬反應堆，專門為先進半導體材料的精密蝕刻和沈積而設計。它具有用於無汙染操作的氣密超清潔室、優化的散熱輪廓以及先進的控制功能,可實現無與倫比的過程可重復性和生產率。該反應堆具有高溫能力，允許從低溫熱操作到高溫快速熱處理等多種工藝操作。AKT Endura II具有雙泵配置,用於高速度流動,如濺射、防止顆粒進入腔室和確保清潔、高純度的基板。AMAT Endura II為先進的過程能力設定了行業標準，例如先進的集成受體運動和原位氣體混合系統。最先進的運動系統可實現多達8個機動化位置,分辨率低至0.1 μ m,樣品包兼容性從12英寸到200 mm不等。混合系統保證了穩定的工藝條件和可重復的結果。APPLIED MATERIALS ENDURA II ENDURA II中的可變脈沖功率技術還提供了全面的工藝控制功能,可實現一致的功率、均勻的工藝溫度和高度可重復的均勻性。等離子體室全面的等離子體監測和數據收集使用戶能夠密切監測過程參數，並容易重復以前成功的過程。此外，完全集成、觸摸屏操作的直觀過程控制軟件使AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II易於編程和執行操作，精確度很高。所有這些功能使用戶能夠實現高精度、高可重復性和更高的吞吐量性能,這是半導體蝕刻和沈積過程成功的關鍵。AKT Endura II是先進半導體研究和生產中任務關鍵過程的理想反應堆。
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