二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9188225 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II Reactor是一種用於生產太陽能電池、LED、光學和MEMS的半導體制造工具。它是一種同時使用電阻加熱和快速熱處理（RTP）技術的低溫化學氣相沈積（LTCVD）反應器。AKT Endura II是AMAT系列PECVD（等離子體增強型CVD）處理系統的一部分，設計用於生產附著力好、層對層階梯覆蓋性好的高度均勻的薄膜。AMAT Endura II反應堆裝有RTP室，可以在短短幾秒鐘內將基片晶片的溫度迅速提升至850°C。這個腔室利用來自高強度燈陣列的輻射來快速加熱晶圓。這使Endura II可以在比傳統PECVD系統短得多的時間內製作高品質的影片。APPLICED MATERIALS Endura II也能沈積氧化物和氮化物薄膜到只有幾納米的厚度。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II使用低壓、含氯的遠程等離子體源，以確保整個晶片的薄膜沈積一致。該等離子體源與主反應室分離，使氯能直接添加到膜中，而不會將原子直接沈積到底物上。即使在復雜的三維結構上，這也有助於保持良好的步進覆蓋。AKT Endura II是一個高度通用的系統，能夠沈積各種介電膜以滿足不同應用的特定要求。它還能夠預先清潔基片晶片，這對於專業應用程序的成功處理往往至關重要。總體而言，AMAT Endura II是一種功能非常強大的LTCVD反應堆，裝備精良，能夠為各種不同的應用提供最優質的薄膜。其快速的熱處理能力使其成為生產環境的理想選擇,並且其預清洗晶片的能力使其適合更復雜的專業應用。