二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9188227 待售
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AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一種先進的批量反應堆設備,用於將各種材料的薄層形成並沈積在不同的基板上。該系統裝有一個專門的真空室,其中包含一系列高坡度、精確可調的crucibles,可以攜帶多種材料制成的目標。這些熔爐與一系列機器人沈積臂相連,可以在全球或本地管理將熔爐中的材料輸送到基質上。AKT Endura II專為廣泛的材料和基材而設計,其快速加熱材料和精確控制其溫度的能力使得各種配方得以生長、沈積和蝕刻。它還具有一個獲得專利的兩室處理單元,可以為更密集的處理應用提供預濺射或預清洗階段。AMAT Endura II使用高頻射頻感應等離子體源在低溫下對材料進行高質量、精確的蝕刻和沈積。它還具有氫氣進料,在較低的溫度下可以產生出色的退火效果。機器還包括氦氣進料,可以改進濕蝕刻控制,同時保持蝕刻圖案的長寬比。APPLICED MATERIALS ENDURA II使用專利的均勻濺射技術,在大型基板上提供異常均勻的材料沈積。這種技術利用多重循環功率提供更一致的層對層沈積。它還包括一個真空烘烤工具,減少汙染物和消除灰塵顆粒,以確保清潔的環境。Endura II是一種先進的批量反應堆資產,結合了最新技術,使各種半導體材料能夠高效生長、沈積和蝕刻。這是一個可靠和經濟高效的解決方案,為公司制造的半導體器件層的精度和質量。它是半導體材料工業的理想選擇,因為它為先進材料提供了可靠的沈積工藝。
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