二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9195097 待售
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ID: 9195097
CVD TIN Chamber, 12"
Process: TXZ
Chamber only SIP
SIP/TI
Missing parts:
Shower head
Isolation ring
H2 Sensor
TMP Leybold.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種為高級沈積過程而設計的強大反應堆。該設備專為生產環境而設計,包括具有多種模塊化組件的高溫處理功能。適用於薄膜材料的沈積,用於生產微電子、光電子、生物技術部件。AKT Endura II是為高速晶圓傳輸而設計的兩室系統。這樣可以在沈積薄膜材料時縮短周轉時間。它具有高效的熱力管理單元,可節省能源。這臺機器還包括一個大功率的燈,以加速沈積速率為大批量生產。AMAT Endura II的最高溫度範圍高達600°C,壓力範圍高達5 Torr。泵速是可變的,可設置為55升/分鐘。該工具還包含用於控制腔室條件的高級軟件,以確保最佳流程。資產包括幾個模塊化組件,如裝載機/卸載機、基板冷卻模型、加熱器控制模塊以及用於發送配方和控制整體腔室條件的控制器模塊。這允許電弧、沈積、濺射、蝕刻和電阻加熱應用,具體取決於安裝的組件。APPLICED MATERIALS Endura II還包括一個觸摸屏顯示,它將允許用戶監視室內條件和狀態,以及設置進程。此顯示還允許數據記錄。因此,用戶可以監控流程性能並在需要時進行調整。Endura II旨在實現快速轉換和對工藝條件的精確控制。這使得它成為大批量生產的理想選擇,非常適合微電子、光電子和生物技術應用。它設計能承受惡劣的環境,易於維護和操作。
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