二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9197130 待售

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ID: 9197130
優質的: 2007
Chamber Currently crated 2007 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是為半導體工業設計的一種反應堆,專門用於制造下一代內存芯片和其他專門應用。它是一種先進的多區旋轉效應設備,采用等離子體增強型化學氣相沈積(PECVD)與原子層沈積(ALD)相結合的技術來創建高精度特征,並對芯片制造中的關鍵參數進行極其嚴格的控制。AKT Endura II系統具有多項功能,旨在提高流程穩定性並減少停機時間。它具有高度可靠、超高純度的不銹鋼腔室,旨在提取用於加熱器和沈澱源的大功率等離子體。該室還具有均勻的脈沖氣室,以提供穩定的熱載荷和顆粒擴散,確保一致的冷卻和熱量損失。AMAT Endura II單元結合ALD和PECVD技術,創建超緊沈積控制。這樣就可以精確控制每層厚度並提高填充系數,從而提供使用壽命更長的卓越產品。除此之外,機器允許全自動過程設置和配方優化,提供近乎瞬時的過程設置和轉換。這大大減少了與制造前沿設備相關的傳統停機時間。Endura II工具以三區5度弧資產為基礎,配備精密伺服電機,由專用命令處理器控制。這使得三個上下級工藝模塊上的運動高度精確,壓力相等,導致粒子生成減少,可重復性增強。真空結構還確保了改進的熱均勻性和較低的汙染可能性。在安全性方面,APPLIED MATERIALS Endura II型號裝有先進的安全傳感器,並具有符合所有現代安全標準的密封室結構。此外,設備還利用絕緣層和空氣屏蔽來確保沒有氣體或顆粒逸出,從而大大降低了汙染的風險。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II System是一種強大可靠的反應堆,為前沿設備制造應用提供精確控制。憑借其先進的技術、功能和安全系統,AKT Endura II單元提供了性能達到或超出預期的芯片制造設施。
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