二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9198082 待售

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ID: 9198082
晶圓大小: 12"
PVD System, 12" SIP/TI Chamber only SIP.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反應堆是為快速生產高質量電子材料而設計的最先進的生產級化學氣相沈積設備。該反應堆具有商業規模的生產能力,具有業界領先的大氣熱飛地(ATE),提供無與倫比的均勻性和優越的產品產量。ATE系統采用四個獨立的電子供暖區,對氣體、供暖和制冷進行精確控制。這樣可確保高達120°C的均勻溫度和高達60升/分鐘的氣體流量(L/min)。ATE單元還具有不斷變化的反應性氣體濃度,以優化沈積過程,導致包括金屬、氧化物和氮化物在內的多種材料的最高質量沈積。AKT Endura II反應堆還具有3維端態剖面。這種獨特的功能使用梯田加熱器系統具有卓越的均勻性控制.這允許用戶設置最終狀態配置文件以滿足精確的溫度需求,並使用軟斜坡設置到環境條件。對於分離材料的平行沈積,AMAT Endura II反應堆還包括多達四個機械分離器,用於在兩個或更多反應堆之間分裂氣流。這些提供獨立的溫度控制,使反應堆也可以一次生產幾十種不同的材料。應用材料Endura II反應堆還配備了一個板載質量流量控制機,能夠控制惰性和反應性流量。它利用四個高精度的質量流量控制器以及一個壓力控制閥來調整工藝室的壓力。板載反應物混合工具還允許用戶精確控制氣體的反應速率。Endura II反應堆確保對從納米級到微米級的一系列材料進行優越的粒徑分布控制。它具有自動采樣器,自動從反應堆內部的多個位置收集樣品。這使用戶能夠獲得有關所生產材料質量的特性數據。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反應堆是一種先進、最先進的資產,能夠生產各種材料,在商業規模的生產水平上具有特殊的質量控制。這一模式有助於確保達到最高產量,並確保所生產的材料達到最高質量標準。
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