二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9205044 待售
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單擊可縮放
ID: 9205044
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
PVD System, 12"
(3) Scanners
(3) Racks
CVCF Rack
(3) Monitor racks
Front monitor rack
System component information:
Factory information:
FFU Type: Thin type
(3) POD
FLEX 4 Controller long type
Light curtain
Signal tower: 3 Colors
Robot type: YASAKAWA AT Robot
Pass through option: (2) Slots
Degas chamber information:
(2) Chambers
Chamber type: Standard
Cryo pump: IS-8F
Chamber A&B information:
Chamber A: Pass
Chamber B: Cool
Lid type: Clear
Buffer & transfer information:
Robot type: XP
RGA Option: No
Cryo pump: IS-8F
LCF Amplifire:
(14) Buffer
(12) Transfer
Chamber 1:
Process type: ALPS Co
Adapter: 0040-62882
Spacing: 225 mm
Weldment type: Old type
MFC:
UFC 8565C-AR 150 sccm
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
Chamber 2:
Process type: Ni-10at%Pt
Adapter: 0041-02309
Weldment type: Old type
MFC:
UFC 8565C-AR 100 sccm
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
Chamber 3:
Process type: TTN
Magnet: DURA
Adapter: 0040-80367
MFC:
UFC 8565C-AR 100 sccm, Process
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
UFC 8565C-N2 200 sccm, Process
Chamber 4:
Process type: SIP TiN
Adapter:
0040-62877 Bottom, SIP TTN
0040-76943 Upper, SIP TTN(3L)
MFC:
UFC 8565C-AR 50 sccm, Process
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
UFC 8565C-N2 100 sccm, Process
Chamber 1 / 2 / 3 / 4:
Controller tower type: CCT
Heater type: ESC
Gate valve type: Old type 3 pos
Cryo pump: IS-BF
Shutter option
Sub rack:
Load center rack
(3) Equipment racks
(2) Heater exchangers
Heater exchanger type: SMC Thermo chiller INR-498012D-X007
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反應堆是一種先進的、技術先進的高溫PCVD處理設備，旨在實現先進的光刻和半導體應用。AKT Endura II反應器基於一種專有的高溫PCVD工藝，它能夠塗覆、沈積和擴散薄層。系統包括大功率陰極以提供高通量；用於精確過程控制的多維變頻調制器；用於晶片沖洗和高精度氮氣/氧氣凈化管理的大目標區域；以及一個計算機控制的升空裝置，用於精確的晶圓厚度控制。該機還包括強大的等離子體處理操作，可以與高溫PCVD工藝相結合，以增強基板膜的附著力。該工具溫度範圍大，可用於多種應用，包括薄層沈積和金屬擴散。AMAT Endura II反應堆還提供了出色的晶圓鈍化能力，其加工能力使得它能夠以最低的人工幹預達到最高精度水平。為確保最大吞吐量和精度，恩杜拉二號反應堆還配備了強大的氣體進料資產，能夠精確控制薄膜沈積過程。這種供氣模式具有加熱模式，使設備在需要時能夠在不同溫度下運行，以達到預期的效果。除了APPLIED MATERIALS Endura II反應堆的特定工藝能力外，還配備了先進的數據記錄和收集能力。該系統能夠以毫秒精度繪制復雜的數據點。此外，該單元的設計旨在與基於PC的軟件應用程序AKT協同工作，以便進一步定制流程。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反應堆是一個全面的先進設備，提供可靠、精確的性能，以滿足最苛刻的應用需求。由於其強大的陰極、控制氣流和溫度的能力以及廣泛的數據記錄和收集能力，AKT Endura II反應堆是任何PCVD處理應用的理想選擇。
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