二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9225567 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9225567
晶圓大小: 12"
System, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種先進的等離子體增強化學氣相沈積(PECVD)反應器,專門為工業、半導體級加工而設計。這種反應器使先進的絕緣材料和導電材料能夠在廣泛的薄膜厚度中高度均勻地沈積。憑借獨特的開放式反應堆平臺,AKT Endura II提供了卓越的溫度控制、精確的氣流和壓力控制,以及強大的工藝監控能力。AMAT Endura II提供了適合特定客戶應用的高質量沈積平臺。其高效的等離子體源選件是為低耗電量和快速提升而設計的。此外,先進的氣體輸送系統易於根據客戶的工藝參數進行調整,有助於簡化PECVD的復雜性並確保CVD塗層的均勻性。Endura II的垂直熱壁室提供了改進的溫度均勻性和均勻沈積的薄膜。其頂部和底部電極可用於溫度控制,可以獨立編程以定制表面溫度曲線以獲得最佳性能。此外,它的多區冷卻平臺確保晶圓溫度分布的均勻性。APPLIED MATERIALS ENDURA II提供了易於使用的工藝配方,使加工方式具有可重復性,從而實現高產率和均勻性。集成的Endura/AppliedProcessControlSoftware可實現快速、輕松的流程設置和優化,還可確保穩定、可重復的性能。該軟件由幾個模塊組成,包括一個用於快速實時優化工藝結果的預處理模塊和一個滿足低雜質濃度的低真空蝕刻監測模塊。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II采用可靠的制造標準,能夠可靠、長期運行,並延長使用壽命,最大限度地提高產品價值。其可靠性和競爭力也為半導體行業做出了健康的貢獻。這種可靠性使得它成為市場上領先的CVD反應堆之一。
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