二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9231975 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor是一種下一代半導體工藝工具，設計用於對先進技術節點進行精密處理。它在業界最苛刻的3D NAND應用程序上提供卓越的性能和統一性。該反應堆的設計目的是最大限度地提高吞吐量，確保精度，最大限度地減少缺陷，同時減少循環時間。反應堆支持集成的工藝流程，使蝕刻、沈積和退火配方更快、更準確。AKT Endura II反應堆采用緊湊、一件式、無工具的設計，允許快速無縫安裝。這種開放式體系結構設計簡化了為滿足客戶需求所需的附加硬件的安裝。該反應堆憑借其強大的線性驅動技術提供了性能優勢，提供了高度可靠的運行。此外，它還具有獨特的侵蝕設備，能夠比不同厚度和組成的基板更高的蝕刻精度。該反應堆具有先進的工藝控制功能，能夠精確控制溫度和壓力，從而實現卓越的工藝穩定性和可重復性。此外，AMAT Endura II反應堆的特點是集成腔室系統，被稱為自適應控制腔室。該單元消除了額外的損失，導致徑流率提高，層沈積均勻性提高，顆粒轉移減少。自適應控制室有助於降低與較高化學性質相關的成本，同時增加工藝的正常運行時間。Endura II反應堆是為最大的熱均勻性和優良的粒子控制而設計的。這是通過利用先進的等離子體流動和現場物理模擬的創新傳熱設計來實現的。該反應堆具有堅固的等離子體加熱機，利用先進的加熱技術，有效地管理不均勻表面溫度梯度的影響，從而提高晶片的均勻性。該反應堆還利用專有的氣流控制技術，在最小的停機時間內幫助保持最佳工藝性能。APPLIED MATERIALS Endura II Reactor完全符合最先進的技術節點和制造程序。反應堆是提供極高的上行時間和可靠工藝的資本設備。這種經濟高效的工具非常適合先進的工藝技術，包括3D NAND、成型、介電沈積、反應性離子蝕刻和金屬沈積。