二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9235244 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9235244
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Systems, 12" Process: Metal 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種集成的自動化熱/過程反應堆,設計用於研究產品和設備開發。AKT Endura II專為許多不同的工藝而設計,包括半導體、MEMS、薄膜、太陽能、高級陶瓷、納米線和一般沈積應用。AMAT Endura II是一種功能齊全的工具,可用於最大4英寸晶圓尺寸的處理。它還能夠用多種材料加工,包括多晶矽、矽化鈀、矽化鎳、氮化硼等。該設備設計為提供快速的基板傳輸、最大的靈活性和快速的熱回收時間。APPLIED MATERIALS Endura II可以與廣泛的惰性、還原性和反應性環境氣體一起運行,包括的有移動式氣體,其中包括移動式、氮氣、氨、氧氣、氫氣和甲烷。Endura II配備了高分辨率觸摸屏界面,允許流程工程師訪問參數、配方和通信系統。直觀的圖形工具允許更輕松的參數管理和更高效的過程設計。接口與Cloud軟件互連,允許訪問最新的流程配方和SSL參數配方。它還具有事件記錄和數據庫存儲功能,允許實時數據編譯和分析。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II采用先進的徑向磁化器設計,能夠實現高精度徑向驅動。磁感器在厚膜動態過程控制和帶有外部壓力表的低壓卸載過程室上工作。AKT Endura II還具有先進的晶圓識別系統,具有獨特的長壽命晶圓穿梭和夾持機構。該裝置與5-L/min液氮冷卻機配合使用,能夠運行高達1200瓦的輸入功率。AMAT Endura II的設計具有先進的安全特性,如冗余閘閥、超壓關閉閥、防撞防護和多個安全聯鎖。APPLIED MATERIALS Endura II配備了兩臺RF發電機,允許多個基板運行而無需中斷。Endura II是一種高性能、經濟高效的工具,用於優化流程,提高產量並縮短周期時間。
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