二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9236846 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II反應堆是用於制造半導體器件的下一代蝕刻加工設備。它旨在從各種基板中高效去除材料，以實現具有精確特性的設備。AKT Endura II是一種金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）反應器，能夠在大面積底物上提供極為均勻的材料沈積。其先進的功能包括增強均勻性的多區域淋浴頭設計、多階段加熱/冷卻設備、快速退火能力和實時配方編輯。它還具有多種流程監控功能,包括實時流程數據和運行結束數據。AMAT Endura II還配備了多種其他沈積和蝕刻系統，用於精確特征定義。Endura II是專門為了提供來自多種底物的金屬氧化物和氮化物的高度均勻的蝕刻而設計的，包括矽、磷化銨、砷化氙、藍寶石和其他III-V材料。該腔室設計用於將熱量從基板快速傳遞到氣源。這允許高蝕刻速率,進而導致高分辨率特性。APPLIED MATERIALS Endura II能夠同時蝕刻毯子區域和階梯式蝕刻特征。其覆蓋面積蝕刻速率高達200 nm/min，步進蝕刻速率高達400 nm/min。系統對蝕刻源的濃度和與基板的距離敏感。蝕刻是在渦輪分子真空泵產生的高真空條件下進行的。該單元還配備了可以調整以定制蝕刻工藝的安全功能。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II能夠獲得最小缺陷的高質量表面飾面。蝕刻過程還導致最小的垂直側壁坡度和均勻的深度。該機也具有很高的靈活性，設計方便維護和升級。其工具可應用於三維結構、微加工、三層蝕刻等多種應用。AKT Endura II也有出色的業績記錄，並取得了一些行業內最高的收益率。