二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9237854 待售
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ID: 9237854
晶圓大小: 12"
優質的: 2013
PVD System, 12"
Process: AlCu Depositon
FI
SMIF System: (3) Load ports
Mainframe
(6) Chambers:
(2) HP AL
(2) DS TTN
(2) Degas
Handler system:
FI YASAKAWA Robot
Buffer XP robot
Transfer XP robot
Accessories:
DI MAX
Equipment rack
(2) Compressors
(2) Generator racks
2013 vintage.
AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一種最先進的晶圓加工反應堆,用於半導體及相關行業。它被設計為能夠對晶片進行高效、準確和可靠的處理。反應堆由幾個不同的部件組成,包括感應加熱設備、氣體輸送系統、真空室、射頻發電機、冷卻風扇、等離子體發電機和熱解石墨反應堆(PGR)屏蔽。感應加熱單元使用專門設計的線圈將晶片快速加熱到所需溫度,以便進行該過程。氣體輸送機提供了過程中使用的氣體,其中可以包括氮氣、氧氣、氙氣等更簡單的分子。真空室在腔內保持恒定的真空壓力,允許有效的晶圓處理。射頻發電機產生等離子發電機被激活所需的射頻功率。等離子體發生器一旦將氣體註入室內,就會產生強大的等離子體場,從而破壞氣體中的鍵合,形成一種等離子體,可用於進行各種過程,如蝕刻、沈積、退火或生長。冷卻風扇將PGR屏蔽保持在恒定溫度下,以保護晶片不因熱量而損壞。最後,反應器可用於測量溫度、壓力、射頻功率、氣流和均勻性等參數。總體而言,AMAT/AKT Endura II是一個高度先進和可靠的晶圓加工反應堆,提供高效和準確的加工。對於重視精度和速度的半導體行業專業人士來說,這是一個理想的選擇。由於其各種特點,它也是一個有效和安全的工藝選擇,如蝕刻,沈積,退火或生長。
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