二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9251715 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於薄膜塗層的研究、開發和商業化生產。AKT Endura II反應堆可用於沈積薄金屬和介電膜，以及復合半導體和其他先進材料，用於微電子、光電和微系統器件。AMAT Endura II是一種具有模塊化設計的熱強、大面積、工業規模的CVD反應堆。其腔室尺寸為40 「x 50」（101.6 cm x 127 cm），經濟高效地從尺寸為8 「x 8」（20.3 cm x 20.3 cm）至30 「x 38」（76.2 cm x 96.5 cm）的基板上輸送更大規模的均勻塗層。典型的過程壓力範圍在1 Torr至10 Torr之間，而溫度可在25攝氏度至1000攝氏度之間編程。其獨特的雙螺旋淋浴頭設計保證了高均勻性和工藝重復性，具有≤10 nm/攝氏度的溫度和壓力變化，導致化學計量控制和更高的沈積速率。APPLIED MATERIALS Endura II所采用的技術可實現高精度的基板加熱、均勻的氣體分配、高效的氣體/化學使用以及精確的工藝控制。它使用化學來源介紹模塊（CSIM）以預混合形式引入純至99.999%的工藝氣體和靈活氣體輸送，以確保化學品的完全利用，並降低工藝成本。此外，其智能自動化控制系統（ACS）實現了關鍵工藝參數的實時監控，減少了薄膜排泄率。Endura II旨在最大限度地提高安全性,為您提供電弧檢測控制、真空互鎖和雙束光學高溫計。此外，其低振動冷卻泵可防止工藝室在操作過程中升溫，降低安全隱患風險。最後，AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一種可靠、高性能的CVD反應器，具有先進的工藝控制能力，能夠堅固地生產薄金屬和介電膜以及復合半導體和其他先進材料。