二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9258545 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一種高通量PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）反應器，用於將薄膜沈積在多種材料上。該設備非常適合薄膜沈積工藝，如鈍化、防反射塗層和薄電介質。它能夠將高質量、均勻的物料層沈積到最苛刻的產品表面，具有較高的吞吐量和可重現的效果。AKT Endura II具有一個低壓、高真空室，能夠處理從一個晶圓尺寸到直徑300 mm的材料。該室被劃分成專用工藝組件的單獨區域，並利用同軸淋浴頭在反應堆內均勻分布等離子體和氣體。它還包含了低溫退火和蝕刻工藝步驟的離軸能力。AMAT Endura II使用高功率射頻發生器在腔室中創建感應耦合等離子體（ICP）源。ICP源將反應物氣體加熱到幾千攝氏度，這是產生所需沈積結果所必需的。等離子體的產生是由脈沖調制控制（PMC）系統控制的，該系統能夠在整個基板上實現具有可靠均勻性的可重復沈積過程。該裝置還可以選擇原位聚焦離子束（FIB）進行過程監測，並能夠為更多樣化的沈積應用添加更多的源氣體。Endura II還提供了多種過程控制功能，如反應性氣體監測、氣流控制、壓力傳感器和溫度控制系統，以確保沈積過程一致並提高產量和可靠性。此外，該機采用自動晶片處理工具，易於裝卸晶片，以確保材料的連續加工。綜上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II是一種高吞吐量的PECVD資產，能夠生產高質量的材料層，具有可重復和可靠的一致性。該型號配備了多種不同的特性，如離軸能力、電感耦合等離子體源、脈沖調制控制設備、原位FIB、自動晶圓處理系統等。此單元是一個理想的解決方案,適用於需要快速薄膜處理能力且精度和可靠性很高的研發和生產環境。