二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9270653 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9270653
晶圓大小: 12"
優質的: 2019
System, 12" 2019 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種化學氣相沈積(CVD)反應器,用於在基板上形成各種材料的薄層。反應堆由多個「層」組成,從加熱室到支撐和轉移部件,再到計算機控制的電氣設備。加熱室是AKT Endura II反應堆的心臟。它是一個圓柱形的不銹鋼容器,內室和外室。外室壁襯有保溫材料以維持溫度,內室壁襯有充當加熱器的陶瓷敏感器。磁感器能夠達到高達1200 °C的溫度,並且可以獨立控制以形成不同厚度的材料層。該腔室還包含一個或多個專門的氣體入口,允許引入沈積過程中使用的化學品和氣體。AMAT Endura II的支持和轉移機制是為有效和可靠的基板進出腔室而設計的。軌道臺通常位於腔室的另一端,它有一個滾子系統,用於在腔室和軌道臺之間快速轉移基板。過程氣體的反應濃度、溫度、壓力和流量都受到電子監控和調節。APPLIED MATERIALS Endura II在混合直流/射頻動力裝置上運行。這臺機器允許對沈積過程進行更大的控制,使操作員能夠精確地調節形成層的溫度、均勻性和厚度。內部計算機工具監視和調節電流和電壓,以及監視和記錄資產變量,包括插頭溫度、腔室壓力和沈積層參數。Endura II反應堆專為生產高溫沈積層而設計。它能夠生產各層材料,包括金屬-半導體、金屬-絕緣體和矽-介電,每一層都具有極好的均勻性和選擇性。反應堆的先進電氣模型允許對層層形成進行精確控制,使操作員能夠在短時間內創建定義明確的材料層。
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