二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9270654 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種用於半導體制造的反應堆。它是Endura系列反應堆的最新、最先進的型號,由AKT和AMAT開發制造。AKT Endura II是一種等離子增強化學氣相沈積(PECVD)反應器,用於在半導體基板上沈積薄膜塗層。反應堆具有獨特的設計,在反應堆主體內集成了工藝室和渦輪泵。這樣可以實現緊湊高效的設計,只需最小的安裝面積。AMAT Endura II設計用於在半導體基板上沈積一系列不同的塗層,使用不同的化學和過濾介質。它還提供了廣泛的工藝氣體化學方法。反應堆可處理尺寸達6英寸(15.2厘米)的基板,最大處理速率為2000晶圓/小時。Endura II還配備了用於遠程系統監控的高級軟件。它通過提供詳細的報告和警報來確保過程控制和優化。此外,反應堆與一系列工藝後測量兼容,包括橢圓偏振法、反射法和X射線反射法。APPLICED MATERIALS Endura II由集成的泵、工藝室和其他組件提供動力,並通過計算機控制的自動化算法進行連接。這樣可以確保最佳溫度和沈積均勻性,同時降低基板熱損壞的風險。反應堆還允許對工藝室進行快速有效的清洗,使工藝不斷優化。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是需要精確沈積和工藝控制的半導體應用的理想選擇。它是一種成本效益高、可靠、技術先進的解決方案,適用於那些需要多功能、高質量PECVD反應堆的人。
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