二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9270655 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種先進的反應性離子蝕刻（RIE）設備，用於廣泛的蝕刻應用。用於精確圖樣、蝕刻和陽極氧化材料，包括鋁、銅、矽、藍寶石和氮化矽制成的材料。AKT Endura II使用先進的氙氣驅動、感應耦合等離子體（ICP）源在整個系統中產生均勻的等離子體分布，確保精確蝕刻。該過程基於平行板體系結構和專有的計算機處理器控制（CPC）單元。AMAT Endura II能夠執行各種各樣的蝕刻過程，從淺各向異性蝕刻到深各向異性蝕刻。它還具有在蝕刻過程中能夠精確溫度控制的扁平晶片卡盤，以及用於進行單面或雙面蝕刻的可編程腔室。該機還配備了Integral Reactive Ion Etching或IRIE等尖端蝕刻技術。這項專利技術提供了一種高效的蝕刻工藝，非常適合多晶材料。Endura II設有主室、負載鎖室和節氣門，全部設計為最大限度地減少氣體和材料損失。它能夠容納多達五個晶片，使其成為生產級蝕刻應用中方便高效的工具。它配備了晶圓溫度、壓力等實時操作參數，允許用戶對蝕刻過程進行監控，並根據需要調整參數。此外，APPLIED MATERIALS Endura II配備了先進的二次離子質譜（SIMS）工具，以高精度精確檢測次埃蝕刻。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是在從半導體行業到光學和電子行業的多個行業中執行精確和精確蝕刻過程的理想工具。其先進技術確保精密蝕刻和統一蝕刻產量，使其成為蝕刻行業的寶貴資產。