二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9274814 待售
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ID: 9274814
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
MOCVD System, 12"
EFEM
TM
TxZ
(2) PCII
(2) IMP
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是用於生產先進材料的最先進的反應堆。設計用於生產高通量、低缺陷密度薄膜和塗料,可應用於一系列工業應用。AKT Endura II是一種並行處理真空沈積工具,結合了多個生產室、原料和生長過程,包括電子束、熱蒸發和濺射。它能夠精確控制沈積速率、氧化物厚度、氧化物/金屬比值以及在廣泛波長和入射角範圍內的光學常數分布。此外,AMAT Endura II使用二次離子質譜(SIMS)進行過程監測,光學光譜進行薄膜表征。它還配備了先進的自動化、真空計、數字控制器和數據通信端口。APPLICED MATERIALS ENDURA II有一個20室的集群,能夠處理直徑不超過4英寸或直徑不超過6英寸的基板,並帶有擴展的固定裝置。Endura II反應堆具有很高的工藝靈活性和出色的統一能力;其腔室溫度均勻性小於¼攝氏度,沈積速率均勻性高達常規間歇蒸發器的六倍。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II的可編程沈積工藝及其編碼各個群集參數的能力使得專門的工藝節點成為現實。AKT Endura II提供了廣泛的優勢,包括模塊化設計,具有未來升級的空間,低運營和維護成本,與傳統的處理系統相比具有更高的成本效益。此外,它的可擴展吞吐量容量允許AMAT Endura II在基材數量和總工藝時間方面滿足特定的應用要求。綜上所述,APPLIED MATERIALS Endura II是一種尖端、高通量的反應堆,設計用於顯著的生產靈活性和最小的缺陷。憑借其行業領先的能力,Endura II是一種可靠而強大的工具,可為許多工業應用生產先進材料。
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