二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9274818 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種先進的等離子體蝕刻反應器，設計用於對各種材料和基材進行大規模蝕刻和蝕刻相關操作。該反應堆設計用於大批量工業過程以及研究、開發和教育實驗室環境。AKT Endura II建有基座式裝填平臺和真空外殼，以方便晶圓和目標特定基板的裝卸。此設計還允許在同一蝕刻操作中包含的不同過程之間輕松轉換零件和組件。AMAT Endura II具有一個低壓等離子體室，可以裝滿惰性氣體或其他支持蝕刻的組件，以完全控制該過程。該反應器包括混合氣體系統，可以混合多個氣流以優化蝕刻性能。該系統還允許精確調整沈積壓力、腔室壓力和蝕刻體積，以進一步定制蝕刻工藝。此外，反應堆采用集成質譜儀測量和跟蹤蝕刻工藝特性。APPLICED MATERIALS Endura II利用射頻（RF）和ICP（感應耦合等離子體）技術在多種材料中提供高蝕刻速率和均勻蝕刻性能。其先進的功率控制機制允許對壓板和氣體系統進行獨立的直流偏置控制，從而確保整個晶片均勻的蝕刻深度和均勻性。這樣可以在大批量生產中重復和可靠的蝕刻結果。Endura II腔室有大量的空間，可以同時蝕刻多個晶片。這允許將多個過程步驟集成到單個蝕刻操作中,包括陣列、交聯和植入。反應堆還包括一個視頻成像系統，用於監測蝕刻過程並顯示該過程的實時照片。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II的工作溫度範圍從室溫到高達1000°C（1800 °F）在真空或氮氣氣氛條件下。這種高工作溫度範圍允許材料快速加工，導致加工時間縮短，缺陷減少。此外，反應堆具有高度自動化，包括可編程配方參數，以減少安裝和啟動所需的工作量和時間。總體而言，AKT Endura II是一種先進的等離子體聚變蝕刻反應堆，旨在滿足大批量工業過程的需求。其強大的設計，先進的控制機制和高工作溫度範圍允許高效和可重復的蝕刻操作具有卓越的性能。