二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9293625 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種先進的CVD（化學氣相沈積）等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）反應器。AKT Endura II PECVD反應堆的設計旨在確保最大的工藝均勻性和最高的沈積速率，從而提高使用時的產量。AMAT Endura II PECVD反應堆利用射頻功率在工藝室中產生等離子體，等離子體被註入室中的前體氣體激活。活化的前體氣體可用於沈積多種薄膜，包括氧化物、氮化物和多晶矽。這是通過前體分子的熱解離或非熱解離來實現的，前體分子被反應性分解並作為薄膜沈積在基板表面上。Endura II的工藝室可以配置為適應不同的產品尺寸、材料和基板配置。APPLICED MATERIALS Endura II PECVD反應堆有幾種配置，包括間歇室、水平管和垂直管。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II還具有氣體分配系統，可確保在整個腔室內均勻分布氣體，從而在整個基質上均勻沈積。腔室還配備了一個射頻線圈，在腔內提供均勻的射頻分布。AKT Endura II先進的加熱元件設計，以確保室內快速啟動和過程溫度均勻。這有助於確保反應正確發生，並確保所需的薄膜以高精度沈積。AMAT Endura II還提供了幾種高級控制選項,可提高流程準確性和可重復性。這些功能包括端點控制、清除擴散和程序設置編輯功能,這些功能允許精確的過程優化,從而確保可重復的過程結果。Endura II PECVD反應器是一種可靠且易於使用的工具，具有優異的沈積性能和均勻性。這種PECVD反應堆非常適合用於各種具有挑戰性的生產環境，包括微電子、微機電系統、平板顯示器和先進的包裝應用。