二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9298482 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種先進的化學氣相沈積（CVD）反應器，專門為最苛刻的微電子處理要求而設計。作為現有最先進的反應堆之一，AKT Endura II能夠生產出溫度、薄膜厚度和對大腔室尺寸的階梯覆蓋控制的高度均勻的薄膜。AMAT Endura II非常適合於Ti/TiN雙層的薄膜沈積、氮化物基金屬柵極膜以及用於先進CMOS和半導體應用的硫膜等高度復雜和精確的工藝。Endura II的關鍵特性包括多功能源插件，對氣體和腔室溫度的精確控制，以及先進的過程監測系統，以確保最大程度的過程均勻性和產量。APPLIED MATERIALS Endura II提供了無與倫比的工藝靈活性，使用戶能夠根據具體應用和基材的形狀和尺寸修改工藝參數，如氣體流量、基材溫度和掩蔽點。這確保了在多種基材類型上的均勻膜沈積，包括鋁（Al）、鎢（W）或金（Au）。設備的最先進的機器人處理系統也使設備能夠將精確數量的氣體轉移到加工室，並為延長生命周期準確地分配它們。由於其先進創新的設計，AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II提供了卓越的重復性、過程穩定性和粒子控制。機器的氣體入口分散工具可確保氣體以始終如一的高性能輸送,以確保每次運行過程時基板都能看到完全相同的氣體剖面。AKT Endura II還具有堅固的石英室設計和密封外殼,提供卓越的工藝重復性和出色的工藝控制。AMAT Endura II具有先進的熱管理資產,能夠對基板和晶片進行精確的溫度控制。Endura II采用垂直級聯加熱模型，從上到下對腔室進行精確、均勻的回火。這樣可以確保均勻的溫度和均勻的沈積在基板上的每個位點上。此外,APPLIED MATERIALS Endura II的多區域AccuHeat設備可用於實現更精確的溫度控制。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II結合了卓越的性能和先進的工藝控制,是當今半導體和MEMS行業要求最苛刻的精密CVD應用的理想選擇。