二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9314715 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種PECVD設備，設計用於電介質膜、金屬和矽化物的沈積。系統可以在RTP腔室中在高達400°C的溫度下處理4英寸晶片。AKT Endura II反應堆有一個專用的裝卸站和輔助設備，可實現底物溫度和配方控制。它由一個工藝室、一個工藝頭和一個基站組成。該工藝室是一個八英寸的單晶圓工藝室，有石英壁和蓋子，允許處理矽、絕緣和導電材料。該工藝室采用Turbo-Pump Turbo-V AdvanceTM抽油機，提高了循環時間和可靠性。它還具有TemperFloTM可編程溫度控制器,以保持反應室內的溫度。AMAT Endura II機的製程頭包含一組五個電極，為基板和製程氣體提供能量。為沈積反應提供的總功率為6.75 kW。磁頭的設計具有靈活性和反應堆操作的順序，允許按順序執行多個過程步驟。Endura II工具的基站作為所有反應堆運行的控制面板。它包含一系列七種可編程的輸入和模式，用於配方控制、溫度控制和氣體分布。該資產還配備了CCD/攝像頭,用於在工藝操作過程中監控腔室狀況。APPLICED MATERIALS Endura II反應器是一種先進的沈積工具，設計用於多種應用，包括需要介電膜、金屬和矽化物的半導體工藝。它具有很高的生產效率和成本效益,使流程工程師能夠開發和維護具有高產率和優化周期時間的流程。