二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315097 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一種單晶片反應器，旨在為半導體器件制造提供全面、耐用、用戶友好的工藝工具。AKT Endura II利用先進技術，如高頻電感耦合等離子體（ICP）源、快速脈沖偏置發生器和多種蝕刻硬件配置，以實現高質量的制造，並具有廣泛的器件結構。AMAT Endura II的全集成設備由低溫低溫恒溫器、原位攜帶組件、遙控系統和定頻高頻ICP發生器組成。這種組合提供了一種低成本、高性能的ICP蝕刻裝置，可以很容易地集成到現有的半導體制造生產線中。APPLIED MATERIALS Endura II的模塊化設計允許輕松擴展和升級,以滿足客戶制造系列的需求。機器的所有組件都可以根據個別客戶的需要進行配置。還針對不同工藝條件下的蝕刻均勻性優化了工藝室設計。Endura II的高頻ICP源提供了配方靈活性,能夠精確控制蝕刻速率、蝕刻選擇性、CD（臨界維度）公差和其他薄膜特性。射頻偏置發生器還可以精確控制蝕刻和沈積過程。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II的原位承載工具可實現高吞吐量,並提供從單級陣列到多級處理的寬層處理能力。快速脈沖偏置發生器在不影響蝕刻速率精度或工藝均勻性的情況下，提供了快速的處理時間和出色的CD控制。AKT Endura II還具有易於使用的用戶界面和直觀的報警管理功能，使用戶能夠快速設置和監控流程序列。此外,還提供了一整套診斷工具,使客戶能夠監控和分析其流程,並確定任何潛在的流程問題。總體而言,AMAT Endura II為客戶提供了一種全面、耐用且用戶友好的半導體制造工藝工具。通過其高頻ICP源、快速脈沖偏置發生器和其他功能,APPLIED MATERIALS Endura II使客戶能夠實現準確、可重復和經濟高效的設備制造。