二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315100 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種最先進的PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）反應器，設計用於生產介電、屏障和保護材料塗層薄膜，用於半導體和薄膜器件制造。先進的反應堆系統通電，在專門設計的真空室內產生高能等離子體。反應堆產生的等離子體產生一種電離氣體（等離子體），有助於誘導原料氣體蒸氣內的反應物種類或與懸掛在室內的反應物蒸氣分子分離。反應性物種隨後能夠穿透暴露的表面，在基質表面成核形成保護性塗層。AKT Endura II具有幾個獨特的優點。它的兩板設計允許精確控制溫度和壓力。這樣可以消除薄膜沈積過程中的溫度和壓力變化,並允許更大的重復性,從而實現一致的高性能薄膜。自動化的現場端點監控系統最大限度地提高了可靠性和統一性,同時降低了成本和停機時間。AMAT Endura II的腔室設計提供了整個腔室的均勻氣體分布和高的電氣連接特性，使得更大面積的晶片能夠沈積。這也消除了手動加載的需要,從而提高了流程吞吐量和高產率。此外，Endura II反應堆中使用的PECVD配置通過允許更好地控制反應物反應性、溫度和壓力，有助於最大限度地提高吞吐量。它還有助於晶片表面溫度保持均勻，提高了薄膜沈積的通量和均勻性。APPLICED MATERIALS Endura II反應器非常適合各種器件和薄膜沈積應用，通過精確的溫度和壓力控制提供了良好的工藝控制。其自動化的現場端點監控系統消除了手動加載,並提供了高重復性,從而能夠生產一致的高性能膠片。