二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315101 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是為清潔室環境中的多種工藝而設計的線型半導體晶圓反應器的頂部。它能夠進行廣泛的化學反應,如化學氣相沈積(CVD)和原子層沈積(ALD),並提供高度的過程控制。AKT Endura II是一種低壓、低溫的設備,能夠減少氣體和化學蒸氣的使用,同時提高生產率、效率和質量。AMAT Endura II具有不銹鋼平臺和先進的反應物輸送系統,使其成為廣泛工藝的完美平臺。其獨特的高功率加熱系統,由先進的控制器控制,能夠實現精確的溫度控制和高反應性氣體組合以及高效的混合和化學反應。該單元還擁有易於使用的界面,能夠快速開發配方、編輯和監控。此高級控制允許更高質量的CVD和ALD過程。APPLIED MATERIALS Endura II兼容從8英寸到300毫米的各種晶圓尺寸,使其成為各種半導體項目的多功能平臺。Endura II專為在半批處理和批處理過程中兼容性和可擴展性而設計。它還有一個叠代、自動化的校準機,用於確保整個過程中準確的壓力和溫度曲線,以改進過程控制。該工具還具有用於同時處理多個晶片的多層特征。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II專為長壽命和低維護使用而設計,具有堅固的生產室和歧管設計,以及改進的反應物輸送系統,有助於最大限度地減少操作過程中的停機時間。它還具有集成的流程監控功能,允許操作員實時監控資產的進度、參數和性能。集成腔室固定系統可以延長模型的使用壽命,即使在有侵略性材料的情況下也是如此。AKT Endura II設計用於大規模、高通量的生產環境,使其成為研發和工業規模生產的理想設備。該系統先進的控制、集成的過程監控、較低的氣體使用量以及減少的停機時間,使其成為各種項目的誘人工具。
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