二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315104 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反應堆是生產半導體器件的最先進的解決方案。該反應堆采用兩級惰性氣體淋浴工藝，用於開發堅固的氮化物和介電膜。此過程有助於提高設備性能和可靠性,同時減少缺陷。反應堆使用高效的熱管理設備，調整到加工環境，允許精確的過程控制。這項技術有助於在整個基板表面上實現均勻的溫度，從而實現優化的沈積和蝕刻結果。反應堆裝有先進的計算機控制圖形用戶界面（GUI）。這使操作員能夠輕松訪問反應堆設置並自定義參數以獲得最佳結果。AKT Endura II反應堆具有利用高效加熱系統的高流量爐。這樣可以確保快速高效地將熱氣體輸送到工藝中,同時保持整個基板表面的均勻溫度。這種設計有助於減少熱梯度並改善基板上的沈積均勻性。此外，高效的氣體利用導致反應堆使用壽命內的運行成本較低。AMAT Endura II配備了低排放等離子體源，有助於減少等離子體增強沈積過程中的顆粒產生。這樣可以優化高質量多層堆棧的工藝,同時將汙染風險降至最低。反應堆還提供了一個可選的基板著陸室（SLC），以確保在工藝完成後基板的直接冷卻。此外，反應堆還配備了多種原位診斷。這些特性有助於監測反應堆性能，減少過程的啟動時間，降低維護成本。總體而言，Endura II反應堆是最先進的氮化物和介電膜沈積裝置。這臺機器具有先進的熱管理和等離子體源，以及多個原位診斷。這一創新工具有助於改進過程控制和效率,同時減少缺陷。APPLICED MATERIALS ENDURA II反應器提供了開發堅固可靠的器件的絕佳能力，使其成為半導體器件制造的理想選擇。