二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9351090 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一種多功能反應堆，設計用於對等離子體運行條件進行動態控制的等離子體過程。這種反應堆是一種多合一等離子體處理設備，結合了真空泵、級和源的功能來進行完整的蝕刻或沈積技術。AKT Endura II包括多種保護和控制系統,使用戶能夠以更高的安全性、重復性、過程控制和精度可靠地運行其過程。AMAT Endura II具有優質氣密不銹鋼真空室的六陰極系統，底壓為1 x 10-7mbar。該腔室還配備了一個創新的真空泵失真控制單元，幫助保持真空完整性，即使泵速度改變。這對於需要高吞吐量的流程特別有用。此外，最大載荷為44千克的沈降晶片級允許廣泛的晶片載荷配置。Endura II還配備了頻率高達160MHz的射頻發電機，總功率為300瓦。該發電機為用戶提供了執行CVD、PECVD和RIE等高功率處理的能力。它還配備了具有高級監控和診斷功能的高級前饋控制器。這臺監控機器可以讓用戶以更高的精度和精度來調整和維護他們的等離子體參數。此外，APPLIED MATERIALS Endura II反應器包括射頻匹配網絡以及外部電壓掃描功能。這些功能為用戶提供了為不同的工藝開發活動定制等離子體實驗室的能力。此外，反應堆與最先進的用戶界面工具集成在一起，使用戶能夠快速定制和調整他們的工作配方，以改進等離子體生產。AMAT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II反應堆的建造和完善，充分選擇了先進的特性和功能，使精密的用戶能夠探索廣泛的等離子體處理。AKT Endura II的用戶能夠利用反應堆的創新技術和動態控制，達到最高分辨率和重復性。