二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358610 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種用於低壓化學氣相沈積（LPCVD）工藝的生產就緒反應器。配備高精度、低電感燈絲電源、自動感應器高度調節、低噪聲軸承組件、專利工藝室架構、高沈積均勻性。AKT Endura II利用具有優化工藝形狀的專利腔室架構，最大限度地提高氣流均勻性，提高熱均勻性、工藝重復性和工藝穩定性。低電感電源的設計是為了減少電噪聲，從而最大限度地減少過程的潛在汙染，從而提高產量和提高質量。自動感應器高度調整允許精確、可重復的晶片定位，減少薄膜厚度的批量變化。低噪聲軸承組件有助於維護一致的環境,提供可重復的過程和改進的過程質量。AMAT Endura II是一款適應性強的系統，具有石英電阻起飛點、HCl控制閥、最多三個旋轉氣體閥等特點。它具有寬廣的溫度和壓力操作窗口,包括標準的雙RF電源功能。功能強大的EasyCenturion軟件提供了自動化的流程配方,可以在系統之間快速傳輸,並使遠程流程監控和流程控制成為可能。Endura II的整體性能和可靠性使其成為LPCVD工藝的絕佳選擇。它是需要高重復性和高均勻性的生產過程的理想工具，例如氮化矽或多晶矽的沈積。強大的EasyCenturion軟件也使其成為基於研究的應用程序的絕佳選擇，允許新工藝的快速原型設計和不同反應堆之間的快速轉移。