二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358612 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反應堆是一種用於半導體制造過程的工具。它利用化學氣相沈積（CVD）通過超高真空（Ultra-High Vacuum，UHV）腔室將氧化物、氮化物和其他材料的薄膜沈積到基板中。這種CVD工藝可以精確控制沈積材料的厚度和組成,使其成為制造高質量電子元件的理想選擇。AKT Endura II反應堆有一個特高壓室，帶有冷凍泵浦離子源，設計用於處理多種材料。腔室可以進行壓力密封，並具有內部的測量和控制系統，以確保可重現的結果。可編程邏輯控制器（PLC）用於管理和控制過程參數,以實現最大效率。AMAT Endura II配備了兩條可供應多達10種氣體的氣線，外加兩條輔助氣線。燃氣管線可以配備手動、氣動或電機驅動的閥門。氣體管線允許將氣體精確引入和混合到加工室。EnduraII具有先進的石英蝕刻系統,可確保底物正確懸浮.底物可以加熱到高達1,000 °C的溫度，這允許在腔室中進行主動過程步驟，包括化學蝕刻、熱氧化、離子轟擊和化學氣相沈積。內置等離子體發生器用於增強低溫操作。APPLIED MATERIALS Endura II的設計考慮到安全性和易用性。機組完全封閉，配有安全聯鎖，防止意外操作。PLC可以編程為半自動操作，以確保可重復和可重復的結果。該單位正在自我診斷，並配備了一套自動化監測系統，以確保最大程度的安全和準確性。