二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358613 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9358613
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
System, 12" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種先進的、計算機控制的化學氣相沈積(CVD)反應器。該反應器用於金剛石和類似金剛石的碳膜(DLC)的沈積。它配備了熱壁敏感器,允許不同類型材料的吸熱沈積。吸熱技術允許在固有的非穩定或氫穩定的金剛石和金剛石復合系統中改善薄膜性能。AKT Endura II能夠在單一固定氣體飼料基礎上沈積任意數量的碳氫化合物膜無序相。這包括金剛石、無定形金剛石、無定形氫化碳等高分子石墨材料。CVD工藝涉及兩種氣體的化學反應,通常是碳氫化合物和氧化劑,AMAT Endura II設計用於精確控制沈積材料的底物。Endura II使用專有的AKT雙軸冷壁旋轉敏感器,以利於均質膜生長。金剛石沈積過程中的雙軸冷壁鐘罩和拓撲避免了許多常見的問題。這有助於確保統一的曲面拓撲結構,該拓撲結構有利於在需要高度有序和健壯曲面的區域中應用。APPLIED MATERIALS Endura II的一個獨特特點是它結合了閉環氣體在線監測系統,以及一個預編程的氣體混合模塊。該系統具有精密、穩定的氣體混合等優點,可精確控制沈積速率,提高膜的均勻性。反應器內氣體混合的常數監測使得沈積過程能夠不斷調整和微調,以達到所需的薄膜沈積特性。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II也納入了用戶界面(UI)的使用。這允許遠程和方便地訪問控制設置、所有流程參數的高級自動化以及對流程條件的實時監控和評估。UI還允許操作員創建和保存特定於其質量控制要求的配方。AKT Endura II能夠支持多種物理化學過程,包括化學氣相沈積、激光燒蝕沈積和濺射過程。由於其先進的特性,AMAT Endura II被廣泛應用於多個行業,其中包括但不限於半導體、航空航天、生物醫學、納米材料和汽車。
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