二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358618 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II反應堆是一種高度可靠的工業級沈積工具，用於先進的半導體制造工藝。這座反應堆以其堅固的設計、耐振和較長的使用壽命而聞名。AKT Endura II反應堆由幾個組分組成：基室、負載鎖定機制、氣體分配系統、離子源、靶標和等離子源。底座室由兩個部分構成，一個中央主體和一個可移動的蓋子--全部由鋁制成。蓋子將所有組件固定在一起，並用四個快速釋放夾密封，而中央機體則能承受大氣壓。該室還包括幾個用於壓力、動力和氣體輸送線路的不銹鋼端口。位於腔室外部的真空泵允許在腔室內進行壓力控制。鎖載機構提供了一個非密封、加熱的腔室入口。負載鎖有兩個部分：輸入門和輸出門。輸入門的設計是為了防止汙染物進入，而輸出門則防止高壓從腔室逸出。氣體分配系統由氣體管線和氣體管線兩部分組成。氣線設計用於調節每種氣體的流量和測量腔內的壓力。煤氣管是一系列將氣體引向室內目的地的管子。離子源設計用於將帶電粒子引入沈積室。這是通過施加電場來實現的，導致粒子從源頭噴射出來並向目標移動。目標是放置在腔室內部的工件。這通常是一種基材，如矽片。沈積過程中，目標被離子和沈積物質轟擊。等離子體源負責使粒子通電和促進沈積。這個源利用高頻電波產生一個等離子體，然後直接進入腔室。總體而言，AMAT/AMAT Endura II反應堆是一種功能強大、可靠且易於使用的半導體制造工具。系統的許多組成部分在設計時考慮到了壽命和效率，為用戶提供了成本效益高和可靠的沈積過程。