二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9363126 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一種用於化學氣相沈積（CVD）過程的反應器。它設計用於在各種基板上進行不同厚度的導電層和介電層的沈積。AKT Endura II具有全自動CVD系統，帶有1-5英寸的工藝室和集成晶圓處理系統。它能夠生產透明和導電氧化物、電介質、氮化物、碳化物等多種材料系統。AMAT Endura II利用具有低壓CVD工藝的獨特工程遠程等離子體源,提高了效率和性能一致性。該反應堆利用了一種稱為線性掃描的技術，允許各種底物上沈積厚度的變化範圍。由於集成的高通量偏轉器限制了均勻膜生長的沈積面積，線性掃描過程是可控的，並且產生均勻的層。Endura等離子體源能夠同時在多個氣體上運行，從而在生產薄膜和塗層時近似達到理想的環境。應用材料Endura II反應器的高過程節流有助於降低整個基板的溫度梯度。這樣就提高了整批晶片塗層的穩定性和均勻性。此外，遠程等離子體源有助於加速材料的生長，從而減少循環時間。這確保了CVD反應堆能夠快速、輕松地達到高效率的水平。Endura II還具有先進的自動化、CCD成像、化學計量和先進的晶圓抓地力機制等其他功能,這些功能對整個晶圓處理操作提供了出色的控制。該工藝使各種材料能夠以非常高的沈積速率使用。生產材料的高通量和高質量是使AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II反應堆成為在多種基材上生產高性能塗料的卓越CVD系統的主要因素。