二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9379779 待售

AMAT/APPLICED MATERIAL/AKT Endura II是AKT為半導體工業設計制造的反應堆。它是一種具有變頻激發、200毫米（7.87英寸）晶圓容量、采樣級石英Q環以及各種類型端點檢測傳感器的無功離子蝕刻器（RIE）機器。AKT Endura II機，為半導體行業設計的一種化學蝕刻器，是一種高效、經濟高效的解決方案，滿足了半導體行業的需求。AMAT Endura II的ETCH速率從0.1到>10 μ m/min不等,非常適合蝕刻各種材料,如Sidewall隔離結構、RIE氧化物、氮化物和多晶矽以及各種金屬、氧化物和氮化物。它由一個工藝室、一個石英Q環、頂部、PCBA板、底部、一般氣體組件、一個ACBL離子源和一個工藝室組件組成。APPLIED MATERIALS Endura II可以提供廣泛的真空水平，以處理各種蝕刻工藝和蝕刻氣體。一個變頻機械激勵電源也包括在反應堆。Endura II反應器上的Q環設計成以不同角度旋轉樣品支架上的樣品，以確保樣品均勻蝕刻，防止橫向蝕刻。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II利用多種混合氣體和工藝氣體產生其他參數，如壓力、溫度和射頻功率，以確保適當的RIE蝕刻。再者，AKT Endura II是計算機控制的，使用各種軟件程序來管理蝕刻過程。這樣可以精確控制蝕刻過程，以便在各種材料上達到預期的結果。此外，AMAT Endura II還配備了多種端點檢測傳感器，用於精確測量壓力、功率、負載和溫度。總之，APPLIED MATERIALS Endura II是一種具有200 mm晶圓容量和各種端點檢測傳感器的高效、經濟高效的無功離子蝕刻器。它是一種可靠、精密的機器，在半導體工業中具有廣泛的蝕刻應用。