二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9379805 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種用於制造集成電路的高性能沈積系統。該反應堆在緊湊和復雜的真空環境中運行，能夠沈積多種材料，包括多晶矽、氧化物、鋁、鈦和氮化物。AKT Endura II反應堆具有雙濺射源以保證最佳沈積性能，使其成為先進設備生產的合適平臺。AMAT Endura II反應堆具有創新的設計特點，使其成為可靠而強大的沈積工具。反應堆設有一個全室外殼，幾乎是密封的極端溫度穩定和減少背景汙染。這個反應堆的內部有彈簧加載的目標和提供反應性氣體極好電離的雙源多磁體組件，從而產生均勻、高密度的等離子體。這種沈積均勻性能有效可靠地摻雜具有優良薄膜性能的材料。優化的磁控管設計也通過防止顆粒飛回基板上來最大限度地減少濺射汙染。APPLICED MATERIALS Endura II反應堆也有多項安全特性。先進的燃氣機架監控系統設計采用三重供應和凈化路徑，以確保適當的燃氣預調和混合。這降低了堵塞、氣體泄漏和其他潛在危害的風險。先進的數字控制器系統可實時調節壓力和溫度，確保對復雜參數的最佳控制。這也可以精確控制總沈積厚度和均勻性。恩杜拉二號反應堆的多功能性是其最強優勢之一。雙源設計和出色的電離為各種材料提供了極好的沈積均勻性。這種多用途工具能夠在一個周期內執行快速、多個源濺射序列，而其數字控制器在基於參數的操作中提供最高水平的控制。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II反應堆具有多重的安全性和性能特點，是半導體工業中最先進的沈積工具之一。