二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9387985 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II反應堆是一種最先進的低壓高真空（LVHV）CVD系統，設計用於半導體制造業的先進反應過程。它能夠進行各種復雜的化學和物理過程，包括薄膜沈積、蝕刻、介電沈積、金屬接觸制造、金屬/氧化物蝕刻選擇性、晶圓清潔等等。AKT Endura II反應堆具有業界領先的高精度真空系統，能夠達到2X10-7 Pa的基本壓力。其強大的設計輔以先進的控制器和精密的傳感器，確保對壓力、溫度、氣流和其他變量的精確控制，以實現沈積過程的精確性能。AMAT Endura II反應堆使用大型石英室來容納沈積過程。腔室密封可以在達到所需反應後有效地提取工藝氣體。石英室壁內內置的加熱元件，在沈積過程中均勻地向基板供熱，以確保厚度均勻，附著力更好。石英室側壁內置多個氣體入口，方便沈積過程所需的不同材料前體。這種腔室設計也有助於實現均勻的膜沈積，即使沈積周期較長。APPLICED MATERIALS ENDURA II也有多種氣動熄火系統，以突然的空氣爆炸關閉反應堆，造成最終產品質量。此外，該反應堆包括用於控制和監測沈積過程及其變量的多區高精度自動化過程控制系統。最後，Endura II反應堆還具有提高裝置產量和生產吞吐量的高工藝能力。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反應堆具有廣泛的特點，使其成為半導體工業先進材料開發的理想工具。