二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9389807 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器，用於在半導體和太陽能光伏器件上生產薄膜塗層和沈積。該反應器能夠提供均勻的薄膜，具有出色的像素填充和高通量。AKT Endura II被設計為高度可靠，對於各種類型的流程都有寬廣的流程窗口。該設備由三個主要組件組成：電源模塊、氣體分配模塊和工藝室。電源模塊包含等離子體能源、高壓電源和等離子體點火控制器。該系統允許精確控制等離子體溫度和密度，以獲得可重復和可重復的結果。氣體分配模塊將過程氣體分配到腔室，還負責控制過程氣體的壓力和流量。該工藝室本身的設計具有堅固可靠的設計和易於使用的控制單元，為幾乎所有沈積過程提供了一個寬廣的工藝窗口。該機器能夠處理尺寸不超過41英寸的沈積設備，並允許在使用非晶矽或矽烷氣體時，連續的沈積速率高達500 Ångströms/分鐘。它還提供了一個自動清除工具，在每次沈積後清洗腔室。此外，AMAT Endura II包括一個可靠的安全資產，用於監測和檢測任何超出範圍的潛在工藝參數。該模型是太陽能電池生產和其他半導體應用的理想解決方案，需要精確的薄膜沈積，需要寬廣的加工窗口。它為大面積薄膜沈積提供了最高的吞吐量，同時確保了可重復性和可靠性。這對於制造商確保其半導體或太陽能光伏設備的塗層準確、均勻至關重要。