二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9402493 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是為半導體器件制造而設計的先進加工系統。它用於先進的沈積和蝕刻應用，由四個主要部件組成：反應堆（能夠進行半導體處理）、傳感器模塊（實時腔室過程監測和調整）、過程控制模塊（數據監測和控制）和凈化系統（用於凈化處理中使用的氣體）。反應堆由一個真空室組成，待加工的基板被放置在真空室中。有允許沈積氣體、蝕刻氣體和凈化氣體進入腔室並用於加工的入口。將腔室加熱並保持在最佳溫度範圍內,以確保所需的處理結果。固定底物的臂根據需要升降，以便優化和控制反應，在施加高頻能量並將RF功率傳遞到反應室時產生等離子體。傳感器模塊在反應過程中監視等離子體、腔室溫度和其他變量，以便進行必要的過程調整。這些信息也被發送到工藝控制模塊，該模塊分析數據，並決定是否需要額外的射頻功率，或者是否應使用不同的氣體混合物。過程控制模塊還具有可以控制反應過程所有方面的子系統。這包括控制底物溫度，調整蝕刻和沈積速率，改變蝕刻和沈積配方，準確控制整個過程。工藝控制模塊還使操作員能夠調整腔室內部的壓力，通過確保閥門和其他壓力控制被打開和關閉，以保持腔室內部的最佳壓力。凈化系統有助於保持沈積和蝕刻過程中所用氣體的最佳純度水平。多級過濾系統確保過程中使用的氣體保持在最高質量水平。這有助於保護被加工的基板，並確保結果是一致的和可重復的。AKT Endura II是一款功能強大、可靠且用途廣泛的半導體制造機器。各種組分協同工作，不僅提供了最佳結果，還允許對整個反應過程進行大量控制。這樣可以在高級沈積和蝕刻應用中實現可重復的高質量結果。