二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura Pre Clean Chamber #9009003 待售

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ID: 9009003
Position D, 12" System: 402522 Part No: 402522LCMD Includes: Leybold turbo vac 1000 C turbo pump Granville-Phillips 352 gauge controller Sanyo Denki BL super P5 servo motor - P50B07040HCS00MA01 Sanyo Denki StepSyn stepping motor - 103H7851-72B2 Module MFG-AMT H.E. RF mATCH PVD 300mm - 0010-21748 CDN 396 card CDN 391 card Preclean chamber interlock card Gas box distribution PCB - 0100-00567.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura Pre Clean Chamber是一種自動化多晶矽反應器,設計用於在矽烷沈積的化學氣相沈積(CVD)過程中提供高水平晶片清洗。這種專門的反應堆用於在沈積過程開始之前有效地清潔晶片,幫助消除汙染並確保一致、高質量的沈積結果。預清潔反應堆室呈圓柱形,設計為同時容納多個晶片,允許增加吞吐量和減少循環時間。在腔室內部,戰略性地放置了多個氣體噴射器,以幫助促進矽烷和反應物氣體在晶圓表面的均勻分布。整個腔室也進行疏散和加熱,以確保整個清洗過程的溫度均勻。清洗過程本身是自動化的,包括幾個階段。首先,矽烷被加熱並通過噴射器進入腔室,在晶圓表面上形成均勻的反應物顆粒塗層。接著,晶片加熱到預定溫度,有助於引發氧化物的形成和分解。此過程有助於有效、快速地清除存在的任何表面汙染物,並為CVD處理準備晶片。一旦預清潔清潔完成,腔室就用非氧化氣體清洗加壓。這有助於保護晶片在從腔室中取出並轉移回CVD單元時免受氧化和進一步汙染。AMAT Endura Pre Clean Chamber是晶圓清洗解決方案的絕佳選擇,提供一致可靠的性能。
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