二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura PreClean #293623456 待售

ID: 293623456
PVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura PreClean反應器是半導體工業中使用的氣相沈積系統。它被設計成用薄膜層均勻地覆蓋基板。反應堆的先進設計確保了所創建的層具有均勻的分布和優越的附著力。AMAT Endura PreClean反應堆利用四室升華室實現其目標成果。內部高真空室由石英管組成,石英管底部有三通道噴射器。這種噴射器通過管子分散原料,使原料升華成蒸氣。通過控制反應堆中使用的原料的速率和種類,材料可以以精確的厚度應用於基板上。石英管底部的三通道噴射器有三個單獨的開口,用於引入原料。每個開口都是單獨控制的,允許每種材料的精確沈積。噴射器作為一個門來控制每個材料的模式和間距熔化和應用。應用材料Endura PreClean反應器有一個低壓低溫室。第二室有助於確保材料穩定和均勻地沈積到基材上。通過保持恒定的溫度和壓力,使材料保持在半固態,從而使它們均勻分布並推入基板。Endura PreClean反應堆的第三室是高溫高壓室。該室作為沈積過程的後果。它可以使材料固化並變成固體,從而確保材料和基材之間的牢固結合。AMAT/APPLICED MATERIALS Endura PreClean的第四個也是最後一個室是家具室。這個腔室提供了必要的工具和設備來清潔和拋光它被塗覆後的基板。該室的一次性用品包括磨料、拋光劑和防護手套。AMAT Endura PreClean反應器的先進技術使其成為半導體工業中塗覆基板的有效選擇。反應器采用四室設計,對材料沈積速率和形態進行精確控制,能夠保證基板上均勻有效的層。
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