二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura PVD #9213370 待售

AMAT Inc.Endura Physical Vapor Deposition （PVD） Reactor is a multi-chamber tools set designed to makely precious of a various of thin milin materials.AMAT/APPLIED MATERIALS Endura PVD設備適用於廣泛的應用，包括制造電子元件和互連、光電器件、振動MEMS器件和先進的光伏電池。該系統是模塊化的,允許使用不同的配置來滿足各種工藝要求。AMAT Endura PVD單元圍繞單室或雙室機器配置的中心集群構建。每個腔室包括一個PVD源，如三甲鋁（TMA）雙極源、電子回旋共振源、鐵橋磁控管源或電離簇束源。然後將源依次調高到工作溫度，使用閉環熱控制工具在沈積過程中保持精確的溫度穩定性。然後使用高性能渦輪抽水設備將腔室抽空，抽水速度範圍很廣。這些腔室的設計目的是對來源材料進行高精度的通量控制，從而實現非常均勻的薄膜沈積。在APPLIED MATERIALS Endura PVD系統中也可以使用過程控制,從而可以對膜厚度進行現場精確監測。還提供了執行器和運動控制器，允許在各種基板形狀和尺寸上進行沈積。此外，Endura PVD系統可以配備精密的在線計量能力，包括X射線光電子光譜（XPS）和二次離子質譜（SIMS）。AMAT/APPLICED MATERIALS Endura PVD模型還設計用於促進高通量性能,具有高沈積配方和工藝的可重復性。快速的工具交換、快速的過程晶片掃描和快速的預熱時間確保了關鍵應用程序的順利生產。這套工具還旨在確保在基板兼容性、最高溫度均勻性和沒有「邊緣效應」方面的高端效果。總而言之,AMAT Endura PVD設備提供了一種多功能、精確的沈積技術,可配置為支持制造高密度、低成本和高性能的薄膜產品和組件,使客戶能夠在不斷變化的技術環境中保持競爭力。