二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura SL #293819858 待售
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單擊可縮放
ID: 293819858
晶圓大小: 8"
PVD System, 8"
Sputter etching
(2) SIP-TI Channels
(3) Channels
No MG Rotation assembly
No DC Cable
No RF Cable
No CH-A Stage
No ESC
No DC Sputter power supply
No RF power supply
No Dry Pump
No BEC Terminal
No Mg Motor
No Magnet
No Lift cylinder set
No Matching box
No Turbo controller.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura SL反應器是一種技術先進的等離子體蝕刻沈積設備。反應堆能夠進行各種沈積、蝕刻和清潔過程以及清潔過程。這是一個單室系統，允許在同一室內執行多個過程步驟。AMAT Endura SL反應器具有先進的光學端點檢測裝置,以確保準確的過程控制。這臺EPD機器具有超快的獨立於極化的探測器、紫外線和可見光譜能力。此監視器允許蝕刻所有材料,包括鋁和銅。此外，該工具還具有對資產中的溫度和壓力進行自動監控和調節的能力，以保證蝕刻零件的質量一致。APPLICED MATERIALS Endura SL模型是為極致性能而構建的,通過利用設備的高沈積速率和高工藝速度,操作員可以顯著提高生產吞吐量。該系統還能夠快速輕松地處理復雜且難以蝕刻的設計,從而提高了工作效率。該設備具有自動化配方功能，消除了操作人員出錯的可能性，提高了質量、一致性和可靠性。Endura SL反應堆還配備了先進的等離子體清洗機，可幫助快速高效地清潔和加工表面。該工具采用了創新的介電加熱、氣相和塵埃過濾技術，以實現最佳的清潔和性能。反應堆還有一個功能齊全的反應性濺射模塊，用於最佳沈積控制。這個模塊產生了廣泛的等離子體放電特性，從慢到超快，允許優秀的表面覆蓋。憑借其強大的光學端點檢測功能,Endura資產確保了過程的均勻性和可重復性,提供了一致且高質量的結果。最後，AMAT/APPLIED MATERIALS Endura SL反應器是一種功能強大的多功能等離子體蝕刻沈積模型，能夠提供精確、高質量的結果。它有一個先進的EPD設備，用於精確的過程控制，以及一個內置的清潔模塊，用於快速和高效的清潔。AMAT Endura SL反應堆工藝時間快，輸出一致，是一系列工業應用的理想選擇。
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