二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura TxZ #9192252 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ反應堆是一種最先進的化學氣相沈積（CVD）設備，旨在為用戶提供半導體行業內無與倫比的工藝控制和精度。該系統利用一系列先進技術來實現最佳的過程控制和產品質量,提高了長期生產率,同時最大限度地提高了產量和成本效益。AMAT Endura TxZ反應堆具有超低熱質量（ULTM）發電機室和基板櫃。此設計最大限度地減少了寄生損失,並最大限度地提高了熱性能,大大縮短了熱循環時間,並提供了較高的工藝速度。創新的多區域溫度控制單元通過對每個單獨的溫度區域進行微調，進一步最大限度地提高了控制精度，減少了非生產性過程時間。此外,板載壓力增強器還可以將熱循環時間降至最低,從而實現更高的吞吐量速率。為保證設備生產質量,應用材料Endura TxZ反應堆提供了對所有參數的絕對過程控制和可重復性,包括源溫度、安裝高度、轉速、運動時間、氣體混合物和氣流。進一步，該機被設計為整合了大量先進的過程監測和控制工具，包括實時原位過程分析和控制、總壓力控制、實時光譜、圖像識別系統和定量分析。Endura TxZ反應堆還融合了多種安全功能，包括自動釋放壓力系統和反應堆安全關閉機制。這確保了用戶的安心,並為設施中的操作員和同事提供了額外的安全級別。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ Reactor提供了一套令人印象深刻的特性，使其成為半導體應用中高級工藝控制的理想選擇。該工具的先進技術確保了快速的熱循環時間、過程可重復性和出色的產品質量結果,因此用戶可以依靠資產來幫助他們達到最佳的過程性能和成本節約。