二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura TxZ #9194422 待售

開發了AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ卷對卷集群工具，為先進的半導體器件制造提供了改進的工藝性能和高吞吐量。它是一種化學機械平面化（CMP）反應器，能夠處理尺寸可達600毫米的大型基板，並提供低晶圓對晶圓變化的可重復性能。AMAT Endura TxZ設有兩個大腔室、兩個單晶圓拋光器和兩個雙面濕加工站。它設計用於在單個系統中執行多個處理任務，包括化學機械平面化（CMP）、拋光和化學蝕刻。主室容納主CMP機器人，該機器人處理晶片的裝卸，控制拋光墊的裝卸。APPLIED MATERIALS Endura TxZ的軟件平臺提供智能的過程控制和過程監控，以提供高產和一致的結果。CMP工藝參數優化到給定的應用，允許動態過程控制，可以根據材料類型和應用要求進行調整。主室、主機器人和主分配器可以從軟件平臺進行控制和監控。恩杜拉TxZ反應堆具有高速輸送定位能力，導致循環時間縮短，吞吐量提高。其動態拋光能力允許在整個晶片上均勻拋光。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ是唯一一個提供直流圈來生產平坦、均勻拋光表面的CMP系統之一。AMAT Endura TxZ冗余的機械設計確保了CMP配置的可靠性和長期精度。APPLIED MATERIALS Endura TxZ的高度自動化設計允許提高吞吐量、改進安全性和環境控制,以及更好的過程控制,以確定整個晶圓的適當材料去除速率。其嚴格的晶片級控制可最大程度地減少浪費,並有助於確保以適當的速度和功率級清除適當數量的材料。EnduraTxZ利用其自動檢測系統，在處理較大的基板時提供了更精確的過程控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ設計用於正面和背面應用。用於集成電路制造、MEMS制造和先進晶圓制造等多個行業。其標準配置使其易於適應不同的技術和材料，使其成為下一代半導體制造的強大而可靠的解決方案。