二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura TxZ #9203028 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ是一種先進的直列式直熱處理反應堆，用於大容量半導體器件和光伏電池制造。該工具能夠處理300毫米（12英寸）晶圓,從而實現更高的吞吐量和更好的生產率。AMAT Endura TxZ工藝室分為幾個區域，每個區域都是專門為處理不同的功能而設計的。盒式工作站既能容納電子束蒸發源，又能容納物理氣相沈積（PVD）源。該工藝室還配備了先進的冷卻和溫度控制機制。此外，APPLIED MATERIALS Endura TxZ使用高頻、高占位循環電源快速加熱工藝室。Endura TxZ可以處理多種類型的材料，包括砷化氙、二氧化矽（SiO2）、氧化錫氙（ITO）等化合物。它還能蒸發鋁、鎂等元素材料。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ是精密沈積抗反射和抗反射塗層材料以及多種其他材料的理想選擇。它還具有廣泛的工藝能力，包括濺射、化學氣相沈積（CVD）、電子束蒸發和原子層沈積（ALD）。除了工作溫度範圍為200-1200 °C外,該工具還具有高級監控、診斷和清潔系統。內置的傳感和控制設備確保晶片的精確定位，並確保整個晶片表面均勻沈積。它還允許對工藝參數進行最佳調整以改進結果。AMAT Endura TxZ包括實時監控和診斷系統，為配方開發和優化提供一致的數據。診斷單元還會監視和報告機器的任何潛在問題,從而為工程師提供即時反饋,使他們能夠快速響應任何問題。APPLIED MATERIALS Endura TxZ與半導體制造中使用的其他先進工具兼容。它被設計成能很好地與機器人、除塵器和其他後處理設備相結合。這使工程師能夠在流程中添加更多的自動化層,從而確保更快的周轉時間、更高的準確性和更高的產量。它還具有適應不斷變化的過程要求的靈活性，使其適合廣泛的應用。從芯片制造到光伏，Endura TxZ是一種用途廣泛、可靠的處理解決方案。