二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura VHP PVD #9384072 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura VHP PVD反應器是物理氣相沈積（PVD）應用的尖端工具。該反應器設計用於將薄膜層沈積在具有優異工藝均勻性和可重復性的基板上。該設備是業界領先的工藝工具,可提供可靠的PVD薄膜沈積,並支持多種沈積技術。AMAT Endura VHP PVD反應堆在工藝靈活性、高通量和超低顆粒性能方面提供了最佳設計。它利用射頻（RF）和高密度直流電（DC）電源,在廣泛的基材材料和尺寸上實現具有卓越均勻性和柵極速率的薄膜層。該系統包括用於腔室、源、基板支架和晶片級的下一代設計，以提高熱和粒子性能。此外，反應堆還配備了電動防護功能，以提高工藝可靠性。APPLICED MATERIALS ENDURA VHP PVD反應器還能夠輸送沈積前體，這些前體可裝載到底物產物支架上，並快速驅動至反應室。增強的運動控制和優化的鏡面位置感測保證了優越的工藝效果。此外，該單元還設計用於支持商業、研發和試點生產應用。Endura VHP PVD反應器有能力借助集成診斷機器準確測量整個基板的沈積速率、溫度剖面和薄膜厚度。該工具還支持各種分析工具，有助於實時監測沈積過程及其隨時間的演變。該資產的設計非常方便用戶,並提供了廣泛的配方和配方定制功能,允許用戶根據自己的需求定制流程。此外，反應堆具有先進的故障檢測和分辨率，能夠檢測由於意外事件引起的過程不一致，並確保在不中斷過程的情況下迅速解決任何已查明的不一致。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Endura VHP PVD反應器是一種可靠、高效、可定制的物理氣相沈積工藝工具，具有優異的工藝均勻性和可重復性，優化了運動控制和鏡像位置感測，並集成了實時監測沈積工藝的診斷模型。