二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #177711 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是為制造前沿半導體器件而設計的高度先進的化學反應器和傳質系統。反應堆包括獨特的特點，在各種半導體器件的開發、制造和測試中實現高生產率、高吞吐量和低成本運行。AMAT ENDURA反應堆由一個外殼和三個主要組件組成：一個反應室、一個外殼和一個預處理室。反應室為化學過程提供了受控的環境，使高速生產的停機時間最短。它旨在保持一個受控的、均勻的溫度和壓力，以及控制氣體和液體的流動。外殼容納反應室和預處理室，並用氮氧混合加壓，確保設計過程的最佳環境。除了其反應室外，APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor還包括一個預處理室，它允許在底物進入反應室前清洗和/或處理底物。腔室由一系列腔室組件組成，其中包括一個水環，用於水的清潔和冷卻；用於化學清洗的洗滌器；蒸汽箱加熱器，用於蒸汽清洗；用於熱清潔的高溫爐；以及用於臭氧清潔的臭氧發生器。此外，ENDURA Reactor還配備了enviromax控制器，它提供了經濟高效、功能強大、可靠的自動化和過程控制系統。這種基於微處理器的控制器提供了對反應堆運行的精確控制，允許廣泛的運行範圍、高效的兩步過程運行、高吞吐量和快速的配方開發。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆因其無與倫比的性能和可靠的運行在半導體工業中得到了廣泛的應用。反應堆的先進特點提供了快速可靠的底物加工，而易於使用的自動化系統則確保了高效運行和快速配方開發。此外，反應堆是為低成本使用和維護而設計的，使其成為成本敏感市場應用的一個有吸引力的選擇。