二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #200767 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是為離子植入和薄膜沈積而設計的半導體加工設備。用於處理先進的微電路元件，如薄柵極氧化物、柵極電極以及晶體管中嵌入的再入層。AMAT ENDURA系統包括兩個主要組件：植入和沈積簇（IDC）和過程控制/監測（PCM）單元。植入和沈積簇（IDC）是單位的心臟，負責控制過程功能的順序和時序。它包括為驅動基於等離子體的過程提供必要能量的電源和兩組高壓磁控管電源。這些源產生一個高溫等離子體，然後用來產生高能離子，可以用於植入，或者將薄膜濺射到基板上。高壓電源還可以控制植入深度和薄膜沈積過程。過程控制/監視（PCM）單元是機器的大腦。它是一種計算機工具，負責監督整個過程，從啟動、監控到準確控制操作參數。它接收各種傳感器的輸入，包括監測每個腔室壓力、溫度和汙染水平的真空泵和離子計。PCM還對高壓磁控管源進行監控，通過監測所發射的能量並相應設置極限來確保正確運行。APPLICED MATERIALS ENDURA資產被設計為可靠、易於使用、價格實惠，使其成為許多半導體公司的誘人選擇。它具有強大的設計,包括各種可互換的腔室以適應任何特定的工藝要求,以及高度靈活的軟件平臺。這產生了比傳統系統更快、更高效的處理協議，錯誤更少，結果更可靠。該模型既能處理小基板也能處理大基板，並提供完整的可追蹤性和過程控制，使其成為現代加工應用的可靠選擇。