二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #293618286 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor（AMAT ENDURA）是一種物理氣相沈積（PVD）設備，專門為金屬膜沈積在基板上而設計。這種PVD系統適用於多種材料，包括矽片、玻璃、金屬和聚合物。應用材料ENDURA反應器能夠沈積厚度在1到200納米之間的薄膜。可用於沈積多種金屬，包括鋁、金、銨、鎢、鎳和鈦，以及各種合金。該單元使用超高真空室創建一個近乎完美的純凈物質來源，其中金屬將升華，然後沈積到基板上。超高真空室保持在5x10-7 torr的底壓。氣體被引入通過熱區加熱器的腔室，導致氣體分子分離成原子。這些原子使用等離子體源被電離，然後通過電磁場穿過底物。當離子撞擊基板時，它們聚集並形成所需金屬膜的層到表面。該機還配備了渦輪分子泵，保持腔室內的高真空，為沈積過程提供了最佳環境。渦旋磁鐵可以用來過濾掉可能損害被沈積材料純度和質量的顆粒。反應堆還配備了激光幹涉儀和各種工藝診斷系統，以及一整套軟件，可以精確控制沈積參數。ENDURA反應器是一種強大而精確的PVD工具，非常適合將金屬薄膜，包括高性能合金沈積到廣泛的基板上。它能夠在厚度和成分的精確控制下沈積薄膜，這使得它成為許多工業制造的寶貴工具，從微電子和半導體到太陽能電池、顯示器和微機電系統。