二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #293767186 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反應堆是一種用途廣泛、可靠的半導體制造設備，具有多種優點。由於易於使用,它具有較高的吞吐量和卓越的吞吐量統一性以及較低的擁有成本。該系統由幾個組件組成，包括預清潔室、蝕刻室和後清潔室。預清室在進入蝕刻室前進行高純度的水沖洗以清除碎屑和顆粒。它還負責等離子體解吸清洗和除去氣體，以幫助蝕刻過程達到其最佳參數。蝕刻室包含主要沈積源，通常是高頻感應耦合電極，並允許一系列蝕刻工藝參數。後清潔過程旨在清除蝕刻過程中剩余的副產品。AMAT ENDURA反應堆是一種高性能蝕刻裝置，具有大量的能力。為實現高度統一和可重復的結果而設計,其參數範圍允許各種材料和工藝配置文件。自動化和機器人控制的集成使機器更易於配置和使用,從而隨著時間的推移降低了擁有成本。根據客戶的需求和流程要求,該工具還提供了一系列附件選項。其中包括應用材料ENDURA烤箱、ENDURA PLC和AMAT/應用材料ENDURA熱成像模塊。所有這些附件都與主要資產無縫集成,使其更易於配置和監控蝕刻過程。AMAT ENDURA反應堆還提供各種安全導向的特點。一盎司的預防可以節省一磅的治愈，而應用材料ENDURA反應堆為蝕刻過程提供了一個安全、合規的解決方案。這包括安全和排放保護、運動控制系統和低泄漏閥，以保護人員和環境。總體而言，ENDURA反應堆提供高性能和可靠的蝕刻性能，擁有成本低於許多其他型號，以及一系列選項和配件，以根據特定需求定制設備。它具有廣泛的工藝參數和安全特性，是半導體制造和工業蝕刻工藝的理想系統。