二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9052314 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一種高度先進和專業化的半導體加工反應堆。它旨在使半導體行業的公司和研究人員能夠制造最優質的光掩模、多芯片模塊和生產復雜的晶片級元件。AMAT ENDURA平臺是一個具有水平軸和垂直軸的雙軸結構，為用戶提供了進行原子層沈積（ALD）、化學氣相沈積（CVD）和其他高精度晶圓級處理的經濟高效的解決方案。這種設備的主要優點包括能夠以可靠、可重復的方式處理各種各樣的基材，以及能夠以無與倫比的精度處理過程。APPLICED MATERIALS ENDURA系統除了尺寸小至1mm的晶片等小基板外，還可用於加工高產量的10英寸砷化銨（GaAs）晶片等大基板。該裝置具有適應性強的溫度範圍，加上高達2700毫巴的壓力範圍。它還提供了非常精確的溫度、壓力和處理時間因素的控制,確保了可靠、可重復的性能。該機可處理多種工藝化學，包括熱氧化物、金屬氧化物、氧化鈷、金剛石狀碳。可以實現的處理時間僅為幾分鐘,因此非常適合需要快速循環時間的應用程序。此外，反應器利用高頻功率，這有助於確保精確的劑量控制精確的材料保形沈積。ENDURA工具配備意大利制造的運動控制器，提供卓越的性能，使在平臺上精確準確地執行復雜的運動模式成為可能。資產是完全自動化的，使得用戶能夠最大限度地減少人工幹預和人工處理晶圓的需要。模型軟件包含了自控操作的板載配方，進一步優化了平臺的性能。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA設備是當今市場上最先進、用途最廣泛的半導體加工反應堆之一。它為精密原子級加工和生產復雜晶片級元件提供了經濟高效、可靠的解決方案。其寬廣的溫度和壓力範圍、精確的控制以及快速的循環時間使其成為高端半導體制造的領先解決方案。